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日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置 NAC-302 ●硅片的處理過程是自動化的，從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。 ●疏水性和親水性晶圓均可收集（斜面收集只能收集疏水性晶圓）。 ●當需要同時對大量晶圓進行采樣和分析時，這是一種極其強大的設備。 ●具有對回收的藥液進行計量和稀釋的功能，防止晶圓上殘留的藥液繼續作業。

日本進口Nasgiken批量晶圓整體表面蝕刻設備 BEM-310 該設備使用臭氧和HF對硅晶片的整個表面進行體蝕刻。 氣體蝕刻不會在晶圓表面產生水滴。 蝕刻期間晶圓中的污染物不會轉移到其他位置。 這是在潔凈室中使用的獨立式設備。

日本nasgiken硅晶片氣體蝕刻設備潔凈室裝置 BEM-310 該設備使用臭氧和HF對硅晶片的整個表面進行體蝕刻。 氣體蝕刻不會在晶圓表面產生水滴。 蝕刻期間晶圓中的污染物不會轉移到其他位置。 這是在潔凈室中使用的獨立式設備。

nasgiken日本微量金屬物質回收裝置SC系列 SC-3100/SC-8100/SC-9100 ●連接至PC以創建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。 ●設備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。 ●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。

日本進口nasgiken微量金屬污染物采樣裝置 SC-3100/SC-8100/SC-9100 ●連接至PC以創建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。 ●設備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。 ●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。

日本nasgiken搜集硅晶片金屬污染物回收裝置 SC-3100/SC-8100/SC-9100 ●連接至PC以創建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。 ●設備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。 ●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。

日本nasgiken收集微量金屬污染物回收設備 SC-3100 ●連接至PC以創建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。 ●設備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。 ●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。 ●由于設備自動供給取樣化學品并移動支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染。

日本nasgiken簡易型微量金屬污染物回收裝置 SC-3100 ●連接至PC以創建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。 ●設備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。 ●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。 ●由于設備自動供給取樣化學品并移動支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染。