日本daico半導體制造濕法工藝用清潔加熱器
日本daico半導體制造濕法工藝用清潔加熱器
**大興製作所的インラインヒーター (CLヒーター：化學線加熱器)**是用于半導體制造濕法工藝中各種藥液和純水的高溫加熱設備。其接觸液體的部分采用高純度石英玻璃，利用鹵素燈加熱器發出的紅外線光能，實現清潔加熱。

產品特點

1. 高清潔性
• 接液部分采用高純度石英玻璃，金屬離子溶出極少，且具有優異的耐熱性和耐藥性。
• 采用光輻射加熱方式，即使加熱器損壞也不會導致金屬污染。
2. 高效率熱源
• 使用快速響應的鹵素加熱器，紅外線轉換率和投射率超過85%。
3. 安全性
• 配備過熱傳感器、過熱檢測傳感器和漏液檢測導線。
• 需要單獨的檢測器。
• 空燒檢測傳感器和過熱檢測傳感器應分別使用。
4. 維護性
• 采用單端加熱器，便于緊湊收納和維護。

內部結構

• 加熱方式：鹵素燈加熱器輻射加熱
• 型號：
• CLH2603T-25P：6KW
• CLH3903T-25P：9KW
• CLH4123T-25P：12KW
• 最高使用溫度：180℃
• 接液部分材質：高純度石英玻璃
• 允許內壓：0.4MPa
• 管道口徑（石英）：25mm
• 適用管道（氟樹脂）：φ25mm
• 安全機構：過熱傳感器、過熱檢測傳感器、漏液檢測導線
• 消耗功率：AC200V 6KVA、9KVA、12KVA
• 機箱材質：氟樹脂（PTFE）
• 機箱尺寸（W×L×H）：230×432×242mm
• 重量：約14kg、15kg、16kg