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日本technomu玻璃基板非接觸平面度測量系統

日本technomu玻璃基板非接觸平面度測量系統
TFL2100 以“空氣靜壓旋轉掃描 + 花崗巖底座"為核心，用極低預算實現重型工件亞微米級平面度非接觸全檢，是金屬板、玻璃、模具等行業的性價比利器。

  • 產品型號：TFL2100
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2025-11-11
  • 訪  問  量：109
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詳細介紹

日本technomu玻璃基板非接觸平面度測量系統
日本technomu玻璃基板非接觸平面度測量系統

利用激光位移傳感器，在工件旋轉的同時，以非接觸方式高精度測量其表面高度方向的位移量，并通過專用軟件進行2D/3D顯示與分析。
適用于從薄到厚、從輕到重的各種工件。
【主要特點】
  • 低價實現高精度測量
  • 高速數據采集
  • 非接觸，不會劃傷被測物
  • 受工件材質影響極小
  • 可測量重型工件
  • 底座采用花崗巖，旋轉軸采用空氣靜壓主軸，實現驚人的面振精度
  • 圖示機型可承載最大 φ800 mm、200 kg 的工件
  • 可根據工件定制測量臺（歡迎咨詢）
【規格】
  • 測量范圍：2 英寸 – 12 英寸以上
  • 測量方式：旋轉掃描式
  • 可用激光類型：三角測距、共焦、光譜干涉、多激光同軸
  • 分辨率：最高 0.001 µm
  • 旋轉軸采用空氣靜壓主軸（エアースピンドル），面振精度高
  • 花崗巖底座 + 空氣軸承轉臺，長期穩定性好
  • 低價實現高精度：分辨率最高 0.001 µm
  • 非接觸激光掃描，不傷工件；透明/鏡面也可測
  • 可測重型工件 – 標準機型最大 φ800 mm、200 kg（可特注更大）
  • 高速數據采集，2-12 in 及以上全覆蓋
  • 支持多種激光傳感器（三角測距、共焦、光譜干涉、多激光同軸）
  • 可按工件形狀定制治具、轉臺、掃描方式2. 典型應用
  • 樹脂加工板、玻璃基板、陶瓷板的平面度測定
  • 金屬板（不銹鋼、銅、鋁等）的平面度在線/離線檢測
  • 大型模具、圓盤、法蘭等重量級工件的平面度全檢


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