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便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測(cè)儀

便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測(cè)儀
XPS-7II是日本新宇宙（NEW COSMOS）電機(jī)株式會(huì)社開發(fā)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀，采用傳感器單元更換方式，能夠檢測(cè)多種半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體。該設(shè)備在便攜式吸引式氣體檢測(cè)儀中實(shí)現(xiàn)了世界小尺寸，特別適用于NF?（三氟化氮）等半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測(cè)。

產(chǎn)品型號(hào)：XPS-7II
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-11-18
訪問量：118

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詳細(xì)介紹

便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測(cè)儀
便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測(cè)儀

XPS-7II是日本新宇宙（NEW COSMOS）電機(jī)株式會(huì)社開發(fā)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀，采用傳感器單元更換方式，能夠檢測(cè)多種半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體。該設(shè)備在便攜式吸引式氣體檢測(cè)儀中實(shí)現(xiàn)了世界小尺寸，特別適用于NF?（三氟化氮）等半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測(cè)。

核心特點(diǎn)

傳感器單元更換系統(tǒng)：

現(xiàn)場(chǎng)可更換：傳感器單元可在使用現(xiàn)場(chǎng)輕松更換
多氣體檢測(cè)：一臺(tái)設(shè)備通過更換傳感器單元可檢測(cè)多種氣體
免校準(zhǔn)設(shè)計(jì)：傳感器單元更換后無需校準(zhǔn)，節(jié)省維護(hù)時(shí)間和成本

世界小尺寸：

超緊湊設(shè)計(jì)：在便攜式吸引式氣體檢測(cè)儀中實(shí)現(xiàn)世界小尺寸
輕量化：約1.3kg重量，便于攜帶和操作
NF?檢測(cè)：作為便攜式NF?檢測(cè)儀，具有業(yè)界的緊湊性

智能報(bào)警系統(tǒng)：

漸進(jìn)式報(bào)警：報(bào)警音隨氣體濃度變化而變化，從緩慢斷續(xù)音逐漸加快到連續(xù)音
高濃度報(bào)警：高濃度時(shí)發(fā)出連續(xù)音報(bào)警
多重顯示：LCD閃爍、紅色報(bào)警燈閃爍等多重報(bào)警方式

國(guó)際認(rèn)證：

CE標(biāo)志：符合歐洲CE規(guī)格要求

技術(shù)規(guī)格詳解

項(xiàng)目	規(guī)格
檢測(cè)對(duì)象	半導(dǎo)體材料氣體
檢測(cè)原理	定電位電解式
采樣方式	自動(dòng)吸引式
檢測(cè)范圍	根據(jù)規(guī)格而定
報(bào)警設(shè)定值	根據(jù)規(guī)格而定
報(bào)警方式	蜂鳴器、紅色LED閃爍、LCD閃爍顯示
響應(yīng)時(shí)間	60秒以內(nèi)（60%響應(yīng)）
尺寸	W62×H150×D128mm（不含突起部分）
重量	約1.3kg
工作溫度范圍	0℃～+40℃
連續(xù)使用時(shí)間	12小時(shí)以上（NF?傳感器單元使用8小時(shí)以上）※堿性干電池、20℃、無報(bào)警時(shí)

主要應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：

半導(dǎo)體工廠中半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測(cè)
化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝氣體監(jiān)測(cè)
刻蝕工藝氣體檢測(cè)
離子注入工藝氣體監(jiān)測(cè)

典型檢測(cè)氣體：

NF?（三氟化氮）：主要用于CVD腔室清洗
SiH?（硅烷）：用于硅膜沉積
PH?（磷化氫）：用于摻雜
AsH?（砷化氫）：用于摻雜
B?H?：用于摻雜
WF?（六氟化鎢）：用于鎢膜沉積

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便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測(cè)儀

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