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日本new-cosmos半導體材料ppm級氣體探測器XP-703DIII是日本新宇宙（NEW COSMOS）電機株式會社開發(fā)的便攜式半導體材料氣體探測器，專門用于檢測半導體制造過程中使用的各種高毒性氣體的微量泄漏。該設備采用熱線型半導體式檢測原理，具有高的檢測靈敏度，能夠檢測ppm級別的氣體泄漏。
產(chǎn)品型號：XP-703DIII廠商性質：經(jīng)銷商更新時間：2025-11-18訪 問 量：104
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日本new-cosmos半導體材料ppm級氣體探測器
日本new-cosmos半導體材料ppm級氣體探測器
| 氣體類型 | 檢測可能泄漏量 | 檢測可能濃度 | 主要用途 |
|---|---|---|---|
| 砷化氫(AsH?) | 2.53×10?? Pa·m3/s | 0.5 ppm | n型摻雜劑 |
| 磷化氫(PH?) | 1.52×10?? Pa·m3/s | 0.3 ppm | n型摻雜劑 |
| (B?H?) | 1.01×10?? Pa·m3/s | 0.2 ppm | p型摻雜劑 |
| 硅烷(SiH?) | 2.53×10?? Pa·m3/s | 0.5 ppm | 硅膜沉積 |
| 氫氣(H?) | 5.07×10?? Pa·m3/s | 1.0 ppm | 載氣/還原劑 |
| 項目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 型號 | XP-703DIII |
| 檢測對象氣體 | 半導體材料氣體（砷化氫、磷化氫、硅烷、氫氣等） |
| 采樣方式 | 自動吸引式 |
| 檢測原理 | 熱線型半導體式 |
| 響應時間 | 10秒以內（對3倍檢測濃度的氣體，靈敏度設定[4]） |
| 顯示方式 | 斷續(xù)音及報警燈閃爍 |
| 電源 | 5號堿性電池2節(jié) |
| 連續(xù)使用時間 | 約12小時（常溫常濕條件下） |
| 防護等級 | IP22相當（皮套安裝時） |
| 工作溫濕度 | 0℃～+40℃、85%RH以下（無結露） |
| 尺寸 | W38×H130×D32mm（不含突起） |
| 重量 | 約190g（含電池和皮套） |
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