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日本RION理音SOG液體顆粒計數器

日本RION理音SOG液體顆粒計數器
0.15 µm 起,適用于光刻膠(Photoresist)、SOG(Spin On Glass)等高純液體
粒徑通道:0.15 – 0.5 µm 范圍內 10 檔;出廠默認 4 檔(0.15 / 0.2 / 0.3 / ≥0.5 µm)

  • 產品型號:KS-41A
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-11-25
  • 訪  問  量:120
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聯系電話:13823182047

詳細介紹

日本RION理音SOG液體顆粒計數器
日本RION理音SOG液體顆粒計數器

KS-41A 光阻液 / SOG 液體顆粒計數器
(側向散射激光式)

1. 核心能力

  • 檢測粒徑:0.15 µm 起,適用于光刻膠(Photoresist)、SOG(Spin On Glass)等高純液體
  • 粒徑通道:0.15 – 0.5 µm 范圍內 10 檔;出廠默認 4 檔(0.15 / 0.2 / 0.3 / ≥0.5 µm)
  • 濃度上限:1,200 顆/mL(計數損失 ≤5%)
  • 采樣流量:10 mL/min

2. 系統特點

  • 光學原理:側向散射 + 830 nm 半導體激光(200 mW)
  • 接液材質:合成石英 + PFA,耐腐蝕、低析出
  • 多種模式:Batch 采樣 / 在線(In-line) / 多點監控(Multi-point)
  • 法規符合:CE 標志,可直接連接多點監控系統

3. 硬件規格

項目參數
供電DC 12 V(由主機 KE-40B1 提供)
尺寸160 H × 300 W × 251 D mm(不含突起)
重量約 7.5 kg

4. 應用場景

  • 晶圓廠光刻膠循環管路粒子監測
  • SOG 涂布前顆粒管控
  • 化學品供應商批次檢驗
  • 多點并行監控(最多 8 通道)


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