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日本Mitaka非接觸式晶圓翹曲形狀測定儀

日本Mitaka非接觸式晶圓翹曲形狀測定儀
搭載比“索引測量"快 50 倍的 Scan-AF 功能與高精度自動 XY 平臺，可在亞微米精度下高速測量數十毫米級大范圍。
適用于：
斷面曲線無法檢出的精密加工件翹曲
注塑件形狀不良
摩擦學中的磨損量及劃痕定量評價

  • 產品型號：PF-60
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2025-11-29
  • 訪  問  量：76
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聯系電話：13823182047

詳細介紹

日本Mitaka非接觸式晶圓翹曲形狀測定儀
日本Mitaka非接觸式晶圓翹曲形狀測定儀

PF-60 “非接觸表面性狀測量儀"
Scan-AF 功能實現大范圍?高速測量！
搭載比“索引測量"快 50 倍的 Scan-AF 功能與高精度自動 XY 平臺，可在亞微米精度下高速測量數十毫米級大范圍。
適用于：
  • 斷面曲線無法檢出的精密加工件翹曲
  • 注塑件形狀不良
  • 摩擦學中的磨損量及劃痕定量評價

特長

  • Scan-AF 測量頭
    大范圍?高精度測量
    測量范圍：XYZ 60×60×10 mm
    分辨率：XY 0.1 µm、Z 0.01 µm
  • Scan-AF 高速測量
    粗糙度測量與國際標準高度相關
  • 標配國際規格（ISO） compliant 軟件 MitakaMap
    支持斷面/面區域粗糙度?形狀評價
  • 桌面小型系統
    安裝尺寸：400 mm×400 mm
    重量：31 kg

規格

  • 行程（X, Y, Z）：60 × 60 × 60 mm
  • XY 軸光柵分辨率：0.1 µm
  • Z 軸光柵分辨率：0.01 µm
  • 激光光斑直徑：1 µm（100× 時）
  • 激光：λ = 635 nm，功率 ≤ 1 mW

PF-60 擅長測量示例


樣品測量要點
HD 懸架輕觸即變的翹曲/扭曲
IC 圖案大面積微細形貌
指紋柔軟物非接觸高精度
頭發捕捉細微變化
金剛石磨粒刃口形狀、突起高度
車刀刀尖3D 顯示、斷面尺寸、粗糙度
晶圓翹曲整體翹曲/波紋高速測量
磨削面振紋面區域粗糙度演算
剎車片磨損毛刺/接觸面/磨損面分割及載荷曲線測量


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