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日本KLS半導體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈

日本KLS半導體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈
是“點光源"型高亮度放電燈,兼顧氙燈的連續光譜與汞燈的強線光譜,專為半導體曝光、PCB 圖形曝光、LCD 修補、熒光檢查等工業場景設計

  • 產品型號:KXES 76
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-12-03
  • 訪  問  量:106
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日本KLS半導體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈
日本KLS半導體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈

日本 KLS 的氙-水銀燈(氙氣汞燈,Xe-Hg)是“點光源"型高亮度放電燈,兼顧氙燈的連續光譜與汞燈的強線光譜,專為半導體曝光、PCB 圖形曝光、LCD 修補、熒光檢查等工業場景設計。主要特點如下:
  1. 光譜寬+峰值強
    200 nm–800 nm 連續譜上疊加 254 nm、365 nm、405 nm、436 nm 等汞線,一臺燈即可同時滿足 i-line(365 nm)曝光和可見光對準,不必換燈。
  2. 高亮度點光源
    電弧長度 1–3 mm,亮度 20–50 W mm?2 sr?1,可高效耦合到 φ3–φ5 mm 石英光纖或導光棒,實現遠距離冷光照明。
  3. 快速啟動 / 熱重啟
    內置高壓氙氣,冷啟動 30 s 達 80 %光通;熄燈后 3–5 min 可熱重啟,適合小批量、頻繁開關的實驗或檢修產線。
  4. 長壽命、低光衰
    直流 150 W、200 W、350 W、500 W、1 kW 多款,額定壽命 1 000–2 000 h;采用鉬箔封接與石英球泡,200 h 光衰<10 %。
  5. 安全認證
    燈體帶防爆槽、臭氧過濾石英(O?-Free),通過 PSE、CE 認證;配套電源內置電流反饋,電弧漂移<0.2 mm,保證曝光均勻性。


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