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韓國PlayTG半導體蒸汽顆粒雜質去除過濾器

韓國PlayTG半導體蒸汽顆粒雜質去除過濾器
VFT系列蒸汽過濾器是專為半導體和顯示制造工藝設計的高性能過濾設備，用于去除工藝蒸汽中的顆粒雜質。

  • 產品型號：VFT系列
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2025-12-29
  • 訪  問  量：74
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詳細介紹

韓國PlayTG半導體蒸汽顆粒雜質去除過濾器
韓國PlayTG半導體蒸汽顆粒雜質去除過濾器

VFT系列蒸汽過濾器是專為半導體和顯示制造工藝設計的高性能過濾設備，用于去除工藝蒸汽中的顆粒雜質。

主要特點

1. 高效過濾性能

  • 采用PTFE膜濾芯，具有優異的化學兼容性
  • 可去除0.003μm以上的超微細顆粒
  • 過濾效率高達99.9999999%（9-log reduction）

2. 優異的耐腐蝕性

  • 主體材質采用PFA（全氟烷氧基樹脂）
  • 可耐受強酸、強堿和有機溶劑
  • 適用于各種腐蝕性工藝環境

3. 高溫高壓耐受性

  • 工作溫度：200°C
  • 工作壓力：7 bar (100 psig)
  • 可適應嚴苛的工藝條件

4. 低析出設計

  • 超低顆粒析出和金屬離子析出
  • 確保工藝純度和產品質量
  • 符合半導體級純度要求

技術規格

接口規格

  • 入口/出口連接：3/4"或1"法蘭連接
  • 排水口：1/4"接口
  • 可選NPT或VCR螺紋連接

流量范圍

  • 3/4"接口：流量50 slpm
  • 1"接口：流量100 slpm

濾芯規格

  • 過濾面積：約1,200 cm2
  • 濾芯長度：10英寸標準長度
  • 可選雙層結構增強過濾效果

應用領域

  • 半導體制造工藝
  • 顯示面板制造
  • 太陽能光伏制造
  • 高純度化學品處理
  • 實驗室高純系統

產品優勢

  • 長壽命設計：濾芯使用壽命長，降低維護成本
  • 易更換結構：濾芯更換簡單，減少停機時間
  • 多種規格：提供多種接口尺寸和材質選擇
  • 質量保證：通過ISO 9001質量管理體系認證
這款蒸汽過濾器特別適合對純度要求高的半導體和顯示制造工藝，能夠有效保護下游設備并提高產品良率。


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