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Yamada山田光學(xué)玻璃基板劃傷缺陷檢查燈 本裝置用于半導(dǎo)體晶圓及液晶基板在制程中最耗時、最依賴人工的“最終表面”宏觀檢查，可快速發(fā)現(xiàn)異物、劃痕、研磨不均、霧斑、滑移等各類缺陷。 憑借高照度照明，可識別表面小至 0.2 μm 的微小顆粒。

日本yamada山田光學(xué)光掩膜缺陷鹵素檢查燈 本裝置用于半導(dǎo)體晶圓及液晶基板在制程中最耗時、最依賴人工的“最終表面”宏觀檢查，可快速發(fā)現(xiàn)異物、劃痕、研磨不均、霧斑、滑移等各類缺陷。

Yamada山田光學(xué)0.2μm微小顆粒識別鹵素燈 本裝置用于半導(dǎo)體晶圓及液晶基板在制程中最耗時、最依賴人工的“最終表面”宏觀檢查，可快速發(fā)現(xiàn)異物、劃痕、研磨不均、霧斑、滑移等各類缺陷。

Yamada山田光學(xué)潔凈室晶圓檢測鹵素光源 高亮度鹵素光源裝置是潔凈室內(nèi)半導(dǎo)體晶圓表面品質(zhì)管理的工具，憑借高照度照明，可識別表面小至 0.2 μm 的微小顆粒。

日本P.R.A.靜電卡盤ESC高壓電源 電壓可調(diào) 電極附近出現(xiàn)反極性電荷，陶瓷表面則感應(yīng)出同極性電荷。當硅片靠近時，片內(nèi)誘導(dǎo)電荷與表面電荷相互吸引，產(chǎn)生吸附力。吸力大小與表面電荷量成正比，而電荷量由高壓電源精確控制。

日本P.R.A.半導(dǎo)體靜電卡盤用高壓ESC電源 電極附近出現(xiàn)反極性電荷，陶瓷表面則感應(yīng)出同極性電荷。當硅片靠近時，片內(nèi)誘導(dǎo)電荷與表面電荷相互吸引，產(chǎn)生吸附力。吸力大小與表面電荷量成正比，而電荷量由高壓電源精確控制。

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日本lightest汽車涂裝劃痕色差檢查點光源 點光源高指向性，微小劃痕也能放大可見 高亮度、均勻照度，約60°寬照射角 無需透鏡的革新專用燈 標配1/4英寸相機螺絲，可安裝于三腳架，固定照射簡單