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日本e-yamato超高純調壓閥分析儀壓力調節器 SRQ-3HL/SRQ-3LL高鈍度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應。消除了滑動部，抑制了微粒的產生。采用波形隔膜，實現壓力高靈敏度。外部硅片采用奧甲基硅片。流動方向也可制作左側入口（左高壓）型。
產品型號：SRQ-3HL/SRQ-3LL廠商性質：經銷商更新時間：2025-05-04訪 問 量：357
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日本e-yamato超高純調壓閥分析儀壓力調節器 SRQ-3HL/SRQ-3LL 特點介紹
高鈍度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應。
消除了滑動部，抑制了微粒的產生。采用波形隔膜，實現壓力高靈敏度。
外部硅片采用奧甲基硅片。
流動方向也可制作左側入口（左高壓）型。
日本e-yamato超高純調壓閥分析儀壓力調節器 SRQ-3HL/SRQ-3LL 規格參數
SRQ-3HL
SRQ-3LL
一次側壓力（MPa）
1~154
2~20
0.7~3
二次倒使用壓力（MPa）
0.2~0.99
0.2~0.8
使用溫度（度C）
-10~40（股計溫度:-10~7攝氏度）1/2
外部響應量（Pam/sec）
螺紋接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下
接氣主本體
SUS316L
要部材質材算配號分離片
SUS316L
諾科脫明井材
PCTFE
（P1=20MPa型:PEEK）
PTFE
是P.476其他
SUS316L
過濾器粗糙度
40μm
量(kg)
2.3
2.3
標準流量
g/minio.e
1300(P=15MPa.Pe=0.8MPa)
1000(P)=3MPa.Pe=0.8MPa)
最大流量
8/min(om.N)
1600(P:=15MPa.P2=0.8MPa)
1300(P)=3MPa.Pz=0.8MPa)
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