日本e-yamato半導體壓力調節器減壓閥分析儀 ER-1HL 特點介紹

可用于半導體用用途的壓力調節器。

半導體·太陽電池·液晶·LED生產工廠和正在研究的大學推薦給研究機構。

制造時，高維度清潔度為了滿足高氣密性、高可靠性的“克林一魯一"

實施內組裝、高性能清洗、全數電阻測試。

測試采用SEMI FO1方法進行，符合標準。

日本e-yamato半導體壓力調節器減壓閥分析儀 ER-1HL 規格參數

ER-1HL

一次側壓力（MPa）

2~15

二次倒使用壓力（MPa）

0.1~0.99

使用溫度（度C）

-5~40（設計溫度:-10~7攝氏度）徑1/4

外部記錄量（Pam2/sec）

螺紋接頭:1.3x10以下焊接頭:1.3X10以下

祖立環境

螺紋接頭:10000級焊接連接:1000級

純水洗凈

接氣主本體

SUS316L

要部材質

材貿記號

隔膜SUS316L的脫出井材

氟樹脂是P.476其他

SUS316.氟樹脂

內置過濾器單過濾過度5μm

重量(kg)1.3

標準流量2/min（nor.）

250(P=10MPa,Pz=0.99MPa)

最大流量2/min（nor）

300(P,=10MPa.P:=0.99MPa)

可用于半導體用用途的壓力調節器。

半導體·太陽電池·液晶·LED生產工廠和正在研究的大學推薦給研究機構。