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韓國PlayTG亞微米級顆粒氣體過濾器

韓國PlayTG亞微米級顆粒氣體過濾器
IGS（Integrated Gas System）專用氣體過濾器
半導體和顯示制造工藝中的集成氣體系統

  • 產品型號：IGF系列
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2025-12-29
  • 訪  問  量：82
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詳細介紹

韓國PlayTG亞微米級顆粒氣體過濾器
韓國PlayTG亞微米級顆粒氣體過濾器

  • 產品名稱: BIKAL™ IGF系列高純度氣體過濾器
  • 產品類型: IGS（Integrated Gas System）專用氣體過濾器
  • 應用領域: 半導體和顯示制造工藝中的集成氣體系統

主要特點與優勢

  1. 專為IGS系統設計 - 針對集成氣體系統的特殊要求優化
  2. 超高純度過濾 - 確保氣體純凈度滿足半導體工藝要求
  3. 緊湊設計 - 適合空間受限的IGS安裝環境
  4. 高可靠性 - 保證長期穩定的過濾性能

技術規格

材料規格

  • 過濾元件: 采用高純度材料制造
  • 外殼: 316L不銹鋼，表面電解拋光處理

過濾性能

  • 去除精度: 亞微米級顆粒過濾
  • 顆粒截留率: 99.9999999%（9 LRV）級別
  • 氦氣泄漏率: 1×10??cc/sec

操作條件

  • 溫度范圍: 適用于半導體工藝溫度要求
  • 壓力范圍: 滿足IGS系統工作壓力需求

設計特點

  • 專門針對半導體制造中的氣體輸送系統設計
  • 提供超高純度的氣體過濾解決方案
  • 確保工藝氣體的潔凈度和穩定性


IGF系列過濾器是PlayTG專門為半導體制造中的集成氣體系統（IGS）開發的高性能過濾產品IGF系列過濾器是PlayTG專門為半導體制造中的集成氣體系統（IGS）開發的高性能過濾產品

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