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產(chǎn)品展示/ Product display

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韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器

韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器
DF 系列擴(kuò)散器通過多孔金屬燒結(jié)濾芯將高速氣流瞬間分散成低速、均勻、低湍流的氣體云，從而顯著降低顆粒產(chǎn)生和壓力沖擊，是半導(dǎo)體廠高產(chǎn)出、低缺陷率的關(guān)鍵部件之一。

  • 產(chǎn)品型號：DF系列
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2025-12-29
  • 訪  問  量：76
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詳細(xì)介紹

韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器
韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器

  • 產(chǎn)品名稱：BIKAL™ DF系列高純度氣體擴(kuò)散器
  • 產(chǎn)品類型：氣體擴(kuò)散器（Gas Diffuser）
  • 應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體和顯示制造工藝中的氣體輸送系統(tǒng)

主要功能與優(yōu)勢

  1. 快速排氣擴(kuò)散 – 縮短腔體抽真空/通氣時間，提高產(chǎn)能
  2. 高純度設(shè)計 – 所有潤濕表面電解拋光，顆粒析出極低
  3. 低壓損 – 特殊流道設(shè)計，保證大流量同時壓降最小
  4. 結(jié)構(gòu)緊湊 – 可直接安裝在氣柜或腔體入口，節(jié)省空間
  5. 高可靠性 – 全金屬密封，氦檢漏 ≤1×10?? cc/sec

技術(shù)規(guī)格（公稱值）


項(xiàng)目規(guī)格
潤濕材料316L EP 管 + 316L 不銹鋼燒結(jié)濾芯
表面處理內(nèi)部 Ra ≤5 μin（電解拋光）
工作壓力1 MPa（@20 ℃）
工作溫度200 ℃
過濾/擴(kuò)散等級≥0.003 µm，9 LRV（99.9999999 %）
氦泄漏率1×10?? cc/sec
接口類型1/4"、3/8"、1/2" VCR 或 SWG 可選

典型型號與尺寸（單位：mm）

型號ABCDE接口
DFV4-025-848442.525.416171/4" VCR
DFV4-038-848444.638.123.8173/8" VCR
DFV8-038-11011067.338.123.823.81/2" VCR

應(yīng)用場景

  • 晶圓傳輸腔體（Loadlock）快速 vent
  • 工藝腔體初始充氮或清潔干燥空氣
  • AMHS 設(shè)備內(nèi)微環(huán)境氣體均衡
  • 任何需要“高速、低顆粒、低波動"擴(kuò)散的超高純氣體節(jié)點(diǎn)

DF 系列擴(kuò)散器通過多孔金屬燒結(jié)濾芯將高速氣流瞬間分散成低速、均勻、低湍流的氣體云，從而顯著降低顆粒產(chǎn)生和壓力沖擊，是半導(dǎo)體廠高產(chǎn)出、低缺陷率的關(guān)鍵部件之一。

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