熱門搜索：日本物性測試儀、石川擂潰機、水泥水分計、脫氣消泡罐、粉體硬度計、日本食感試驗機
深圳秋山工業設備有限公司 全國咨詢熱線：13823182047
晶圓納米級金屬污染物半自動微量回收裝置用于 硅片及化合物半導體晶圓 表面/側面 納米級金屬污染物 的 半自動微量回收
產品型號：SC-9200廠商性質：經銷商更新時間：2025-12-31訪 問 量：52
立即咨詢
聯系電話：13823182047
晶圓納米級金屬污染物半自動微量回收裝置
晶圓納米級金屬污染物半自動微量回收裝置
| 功能 | 說明 |
|---|---|
| 自動保持具清洗 | 回收液槽與吸頭每次循環自動沖洗，消除交叉污染 |
| 上吸式液回收 | 通過負壓將取樣液 精確吸回，殘留量 < 1 µL |
| 多種取樣圖形 | 標配：環狀、扇形、固定半徑、弧段；可選：側面（倒角）、矩形、弓形 |
| 全自動流程 | ①裝夾 → ②供液 → ③取樣 → ④回收 → ⑤清洗，一鍵完成 |
| 高潔凈設計 | 整機可置于 潔凈臺（Clean Draft） 內使用；與晶圓接觸部分 PFA/PTFE 材質 |
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 適用晶圓 | 2–8 inch（可兼容缺口/平邊） |
| 取樣面積 | 最小 Φ 1 mm 環帶， 全表面 |
| 回收液體積 | 50–500 µL（可調，閉環體積校準） |
| 取樣時間 | 典型 30 s/片（含清洗） |
| 電源 | AC 100–240 V 50/60 Hz 200 W |
| 公用介質 | 純水（DIW）、氮氣（N?）、潔凈空氣（CDA） |
| 外形/重量 | 690 × 550 × 790 mm / 55 kg |
| 控制方式 | 外接 PC（Windows），圖形界面；可導出 CSV/Excel |
您的位置：
