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日本shuwaind秀和 晶圓精密拋光鉆石研磨液

日本shuwaind秀和 晶圓精密拋光鉆石研磨液
Shuwa Industrial 的鉆石拋光液(Diamond Polishing Liquid)主要用于半導體晶圓的精密拋光工藝,適用于硅(Si)、碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等材料,能夠實現鏡面級拋光效果,表面粗糙度 Ra ≤ 0.01 µm 。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2026-01-07
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日本shuwaind秀和 晶圓精密拋光鉆石研磨液

日本shuwaind秀和 晶圓精密拋光鉆石研磨液

Shuwa Industrial 的鉆石拋光液(Diamond Polishing Liquid)主要用于半導體晶圓的精密拋光工藝,適用于硅(Si)、碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等材料,能夠實現鏡面級拋光效果,表面粗糙度 Ra ≤ 0.01 µm 。
該產品通常與拋光墊(Polishing Pad)配合使用,通過化學機械拋光(CMP)工藝去除晶圓表面的氧化層、介質層(ILD)和金屬層(如Cu、W),確保表面平整度和低缺陷率,從而提高芯片的良品率和性能 。
此外,Shuwa Industrial 的鉆石拋光液支持多種納米級粒徑選擇,適用于不同材料和工藝需求,特別是在第三代半導體材料(如SiC和GaN)的超精密加工中表現好


Render金剛石研磨液長期以來一直用于陶瓷和超硬金屬的高精度、高效率研磨加工。我們可根據客戶的需求,定制生產原創的研磨劑?金剛石研磨液。
■ 特點
展現原創性
我們可根據客戶的各種需求,定制生產原創的金剛石研磨液。歡迎隨時咨詢。
值得信賴的穩定性
通過將嚴選出的金剛石以獨特方式與研磨液混合,提高了分散效果,使供給到研磨盤上的金剛石量始終保持穩定。
優異的潤滑性
潤滑性能出色,可實現令人滿意的鏡面精度。
■ 可從豐富類型中選擇
通過類型、粒度等級、金剛石種類、集中度四種組合,為您定制原創研磨液。請從A~D中各選一種。
A. 類型
  • IRIS(水溶型)
    適用于各類化合物半導體晶圓,分散性優異,可實現低損傷鏡面加工。
  • SP-1107(水溶型)
    在陶瓷、GaN、SiC 等方面擁有豐富實績,兼顧面精度與研磨速率的研磨液。
  • TE-0531(油溶型)
    新型油劑,分散性更佳。
    以上為典型代表,此外還備有20多種型號供不同用途選擇。
B. 粒度等級
C. 金剛石種類
  • 單晶
  • 多晶
D. 集中度
  • 常規(Regular)
  • 高濃度(Strong)
  • 超高濃度(Super Strong)


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