日本kashiyama潔凈室小型空冷干式真空泵

日本kashiyama潔凈室小型空冷干式真空泵

小型干式真空泵的規格表，定位為“節能 + 空冷 + 免維護"的潔凈干泵，適用于負載鎖定室（Load Lock）、傳送室（Transfer Chamber）、分析儀器等中低真空場合。

 系列劃分

• SDE90/120/200 — 基礎型（X 后綴）
• SDE303/603/1203 — 高抽速型，分 X（節能）與 TX（高耐工藝）兩種版本
  ※ 數字 ≈ 抽速 ÷ 10（例：SDE1203 ≈ 20 000 L/min）

2. 性能速覽

3. 共同技術亮點

• 空冷式 — 無需外接冷卻水，潔凈區部署更簡單
• 垂直螺桿 + 無接觸 — 零油反流，低顆粒、低振動
• 節能設計 — X 型功耗比同級油泵下降 30 % 以上
• 內置溫控 & CMS 端口 — 可遠程監控溫度、電流、狀態
• 免維護周期長 — 僅抽潔凈氣體時推薦 2 年一次保養

4. 典型用途

• 半導體 Load Lock / Transfer / Metrology Chamber
• FPD、LED、PV 產線的搬運室、緩沖室
• 分析儀器（SEM、XPS、AES）前級泵
• 可與 SD/SM 系列組合，作為前級干泵使用