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日本kashiyama半導體刻蝕高耐蝕干式真空泵轉子相互無接觸，零摩擦、低粉塵，MTBF 大幅延長新型分區加熱系統：保持泵腔溫度梯度，減少副產物沉積，提高工藝耐受性
產品型號：SDX600/SDT600廠商性質：經銷商更新時間：2026-01-07訪 問 量：53
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日本kashiyama半導體刻蝕高耐蝕干式真空泵
日本kashiyama半導體刻蝕高耐蝕干式真空泵
| 機型 | 抽速* | 極限壓力 | N?流量 | 冷卻水 | 功耗 | 外形尺寸(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SDX600 | 10,000 L/min | 0.5 Pa | 0–80 SLM | 3 L/min | 1.5 kW | 695×285×850 |
| SDT600 | 18,000 L/min | 0.3 Pa | 0–120 SLM | 4 L/min | 3.0 kW | 695×285×850 |
| SDX1200 | 19,000 L/min | 0.5 Pa | 0–80 SLM | 3 L/min | 1.65 kW | 850×380×950 |
| SDT1200 | 30,000 L/min | 0.3 Pa | 0–120 SLM | 4 L/min | 3.15 kW | 910×420×900 |
| SDX1800 | 50,000 L/min | 0.5 Pa | 0–80 SLM | 3 L/min | 2.1 kW | 1050×515×950 |
| SDT1800 | 100,000 L/min | 0.3 Pa | 0–120 SLM | 4 L/min | 3.3 kW | 1050×515×950 |
| SDH3000* | ※咨詢 | ※咨詢 | 4 L/min | 3.3 kW | 1050×515×950 | |
| SDH6000* | ※咨詢 | ※咨詢 | 4 L/min | 3.7 kW | 1050×515×950 |
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